项目强省会｜济南在全球率先研制成功12英寸铌酸锂晶体

　　本报5月19日讯 近日，我市两年前的一项“揭榜挂帅”科研攻关项目研制成功，这让济南在全球率先研制出了12英寸(直径300mm)的超大尺寸光学级铌酸锂晶体。

　　完成这项科研攻关的是山东恒元半导体科技有限公司，是济南大学8英寸铌酸锂晶体科研成果的转化项目。目前，恒元半导体已经开始批量生产6-8英寸Z轴、X轴光学级铌酸锂晶体。

　　“本着研发走在前列的科技产业发展理念，公司与山东大学刘宏教授、济南大学孙德辉教授科研团队合作，在世界上首次提出了研发12英寸铌酸锂晶体生长技术，并成为2022年济南市‘揭榜挂帅’科技计划重点项目。”恒元半导体公司总经理彭立果说。

　　经过两年的攻关，经历了数十次失败，恒元半导体公司相继攻克12英寸铌酸锂晶体生产设备的设计、晶体生长及缺陷控制、晶体后处理等全链条关键核心技术，4项科技成果获得国家发明专利授权，终于在全球首先突破了12英寸铌酸锂晶体生长技术。近日，恒元半导体公司对外公布了在全球率先研制成功12英寸光学级铌酸锂晶体的消息。

　　铌酸锂晶体是一种具有压电、电光、声光及非线性光学等多种效应的多功能晶体材料，是集成光电子技术的核心基础材料。研究表明，基于铌酸锂光学平台开发出的全球领先微波光子芯片，可运用光子进行超快模拟电子信号处理及运算，比传统电子处理器快1000倍。随着半导体工艺普遍进入纳米级，基于电子和硅材料的集成电路芯片已经越来越接近物理极限，成本也在不断增加，科学家们早已把目标转向了速度更快、能耗更低、性能更稳定的光子芯片。

　　如今，12英寸铌酸锂晶体研制成功，让济南在集成光电子产业发展的道路上更进一步。彭立果说：“铌酸锂晶体尺寸越大，意味着单位芯片的成本越小，这是光子芯片产业化的基础。公司已经募集到1亿元左右的资金，计划3年内晶圆年产量达到25万片。”