从突破“卡脖子”核心技术到实现产业化 “山东造”硅基中束流离子注入机顺利交付

　　6月23日，艾恩半导体自主研发的硅基中束流离子注入机顺利交付国内头部Fab。

　　作为芯片制造的“心脏装备”，离子注入机贯穿从掺杂到性能调控的每一道核心工艺，其技术水平直接影响集成电路的性能上限与制程先进性。此次交付的硅基中束流离子注入机，依托艾恩半导体自主核心技术，主要面向硅基集成电路与硅基MEMS产线，兼顾超高掺杂精度与批量加工效率，能够有效帮助客户降低研发成本、优化生产工艺，提升产品良率，加速技术迭代，尤其适用于MEMS传感器量产线、企业工艺中试线、高校微纳研发平台等场景。

　　此次交付，是客户对艾恩半导体离子注入机性能、品质把控以及交付能力的高度认可。从关键技术突破到产业化，艾恩半导体始终以客户需求为导向，以技术创新为驱动。未来，艾恩半导体将持续深耕离子注入装备领域，丰富产品谱系，以更加成熟、稳定、可信赖的设备与服务，为中国半导体产业链的自主可控贡献坚实力量。