“山东造”大束流离子注入机交付

　　本报9月18日讯 昨天，济南市艾恩半导体科技有限公司自主研发的大束流离子注入机顺利完成交付。

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　　离子注入机是芯片制造前道工序的核心装备之一，其产品性能直接影响集成电路的性能与制程能力。长期以来，该领域由少数国际厂商主导，国产化率较低，是半导体产业链自主可控的关键环节。艾恩半导体自成立以来，始终专注于离子注入机的自主研发与产业化，已具备多品类离子注入设备的研发与交付能力。

　　此次交付的大束流离子注入机，集成了艾恩半导体多项自主核心技术，在掺杂均匀性、工艺稳定性及生产效率等关键指标上表现良好。大束流离子注入机作为离子注入装备中技术门槛较高的品类，对束流传输、均匀性控制及颗粒污染控制等环节均有严格要求。